上海某大型半导体制造商-新工艺工厂建设项目
2018年我公司设计、生产并安装了酸系、碱系、粉系3个系统共由29套大型洗涤塔处理单元组成的无机废气处理系统。该系统自动化程度高，处理风量大且处理能力及效果都非常良好。其中酸系洗涤塔采用了按照客户现场层高定制的非标卧式洗涤塔，17套设备在设备层中一字排开共处理风量125万m3/H；碱系洗涤塔采用了协和化工FSW型立式高性能洗涤塔，共6套设备，处理风量36万m3/H；粉系系统使用了协和化工标准文丘里处理装置，共6套设备，处理风量30万m3/H。用户作为国内最先进的半导体制造商对我方设备给予了很高评价。 该系统最大的个体处理单元风量为89000m3/H，其对指定的无机废气处理能力也高达95%以上。该系统目前是我公司在中国国内建造的规模最大的系统之一。
