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工程案例

上海某英国著名半导体机台供应商的研发中心排气项目

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我公司于2020年为该公司上海研发中心设计并安装了一套FSW-160洗涤塔设备。该研发中心所使用的机台多用于半导体工厂内的废气处理配套,机台试验时所排出废气需按照半导体行业排放标准进行处理,对废气处理设备的性能要求较为严苛。为实现该目的,我方在此套废气处理系统中添加安装了各类压力控制、药液供给控制及检测单元,用以在自动运行模式下实时保证设备处理效果。配用动力设备如:排气风机、循环泵由协和化工日本总公司生产,有技术性能稳定、寿命长、故障率低、恶劣工况下效率高等优秀特点。为客户实验机台的运行和实验操作的稳定进行提供了良好的排气保障。


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